Charged particle beam device

WO2021234817 Art A1 25. November 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021234817
Aktenzeichen
EP20937106
Anmeldetag
19. Mai 2020
Veröffentlichung
25. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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