Method for affixing polishing pad of double-sided polishing device

WO2021235050 Art A1 25. November 2021

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021235050
Aktenzeichen
EP21807619
Anmeldetag
10. März 2021
Veröffentlichung
25. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/12B24B37/20H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.180 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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