Abrasive for synthetic quartz glass substrate, method for producing said abrasive, and method for polishing synthetic quartz glass substrate

WO2021235054 Art A1 25. November 2021

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021235054
Aktenzeichen
EP21809681
Anmeldetag
12. März 2021
Veröffentlichung
25. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/00C01F17/241
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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