Radiation sensitive resin composition, pattern forming method and onium salt compound

WO2021235283 Art A1 25. November 2021

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021235283
Aktenzeichen: EP21809314
Anmeldetag: 12. Mai 2021
Veröffentlichung: 25. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C08F220/10C09K3/00C07D493/04G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20C07D239/47C07D239/54C07D239/553C07D239/557C07D239/96

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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