Critical-dimension measurement method and system based on dispersion relation of momentum space

WO2021237949 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: Fudan University, Shanghai Ideaoptics Corp., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021237949
Aktenzeichen: EP20938264
Anmeldetag: 12. August 2020
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01N21/359

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fudan University
Shanghai Ideaoptics Corp., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Fudan University

Die Fudan University ist eine chinesische Eliteuniversität mit Sitz in Shanghai und breiter Forschung in Medizin und Chemie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie, ergänzt durch Pharma und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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