Method for patterning a thin film of a solid material
WO2021240434
Art A1
2. Dezember 2021
Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021240434
- Aktenzeichen
- EP21737143
- Anmeldetag
- 27. Mai 2021
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/00B29C59/02B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
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