Mixed-gas supply device, device for producing metal nitride film, and method for producing metal nitride film

WO2021241152 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021241152
Aktenzeichen: EP21811891
Anmeldetag: 6. Mai 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448H01L21/31H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

325 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von