Polishing device, treatment system, and polishing method

WO2021241162 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021241162
Aktenzeichen: EP21812473
Anmeldetag: 7. Mai 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B24B41/02B24B37/005B24B37/30B24B41/047B24B41/06B24B55/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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