Substrate treatment device, substrate treatment method, method for generating training data, learning method, learning device, method for generating trained model, and trained model

WO2021241231 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021241231
Aktenzeichen: EP21814065
Anmeldetag: 12. Mai 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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