Semiconductor device

WO2021241449 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE, KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021241449
Aktenzeichen: EP21813513
Anmeldetag: 21. Mai 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/11568H01L21/336H01L29/78H01L29/788H01L29/792H01L29/786C23C16/34C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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