Air-permeable plug, substrate support assembly, and shower plate

WO2021241645 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021241645
Aktenzeichen: EP21813883
Anmeldetag: 26. Mai 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C04B38/00C04B41/87C04B35/111C04B35/117H01L21/3065H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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