A fluid purging system, projection system, illumination system, lithographic apparatus, and method

WO2021244808 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021244808
Aktenzeichen: EP21722463
Anmeldetag: 30. April 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/02G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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