Verifying freeform curvilinear features of a mask design

WO2021244830 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021244830
Aktenzeichen: EP21727105
Anmeldetag: 13. Mai 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06F30/398G03F7/20G03F1/70G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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