Charged-particle-beam based fabrication method for micro- and nano-structures and optical devices fabricated by the method
WO2021245099
Art A1
9. Dezember 2021
Anmelder: ETH ZÜRICH 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021245099
- Aktenzeichen
- EP21730187
- Anmeldetag
- 1. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B6/12G02B6/124G02B6/136G02B6/293
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH ZÜRICH
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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