Evaluation method, evaluation system, and manufacturing method for silicon wafer

WO2021246101 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021246101
Aktenzeichen: EP21818055
Anmeldetag: 6. Mai 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C30B15/00H01L21/322H01L21/66C30B29/06G01N21/00G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

658 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von