Mist generator, device for producing thin film, and method for producing thin film

WO2021246312 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021246312
Aktenzeichen: EP21816655
Anmeldetag: 28. Mai 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B05B17/04B01J19/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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