System and method to measure refractive index of euv reflective element absorber

WO2021247296 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021247296
Aktenzeichen: EP21817290
Anmeldetag: 26. Mai 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/41G01N21/33G01J1/42G03F1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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