Diagnostic disc with a high vacuum and temperature tolerant power source

WO2021247573 Art A1 9. Dezember 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021247573
Aktenzeichen: EP21817014
Anmeldetag: 1. Juni 2021
Veröffentlichung: 9. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/67H02J50/00H02J50/10G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von