Lithographic pre-alignment imaging sensor with build-in coaxial illumination

WO2021249739 Art A1 16. Dezember 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021249739
Aktenzeichen: EP21728861
Anmeldetag: 20. Mai 2021
Veröffentlichung: 16. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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