Distributed control system and semiconductor inspection device provided with same

WO2021250851 Art A1 16. Dezember 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021250851
Aktenzeichen: EP20940397
Anmeldetag: 11. Juni 2020
Veröffentlichung: 16. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06F13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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