Systems and methods for controlling a center wavelength

WO2021252103 Art A1 16. Dezember 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021252103
Aktenzeichen: EP21728698
Anmeldetag: 5. Mai 2021
Veröffentlichung: 16. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/137H01S3/08H01S3/13G03F7/20H01S3/03H01S3/034H01S3/10H01S3/106H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von