Fully Self-Aligned Subtractive Etch

WO2021252229 Art A1 16. Dezember 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021252229
Aktenzeichen: EP21823079
Anmeldetag: 2. Juni 2021
Veröffentlichung: 16. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/033H01L21/768H01L23/528H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von