Image alignment setup for specimens with intra- and inter-specimen variations using unsupervised learning and adaptive database generation methods

WO2021252246 Art A1 16. Dezember 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021252246
Aktenzeichen: EP21823081
Anmeldetag: 2. Juni 2021
Veröffentlichung: 16. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G06T7/30G06T7/90G06K9/62G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen