Silicon dioxide thin film forming method and metal gate forming method

WO2021254108 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021254108
Aktenzeichen
EP21825474
Anmeldetag
25. Mai 2021
Veröffentlichung
23. Dezember 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/316H01L21/283
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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