Lithographic apparatus, metrology systems, and methods thereof

WO2021254810 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021254810
Aktenzeichen: EP21731964
Anmeldetag: 7. Juni 2021
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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