Method for etching a layer of iii-n material

WO2021255381 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021255381
Aktenzeichen: EP21739166
Anmeldetag: 15. Juni 2021
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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