Device diagnostic device, device diagnostic method, plasma processing device, and semiconductor device manufacturing system

WO2021255784 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021255784
Aktenzeichen: EP20940894
Anmeldetag: 15. Juni 2020
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06Q10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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