Stage apparatus, exposure apparatus, method for manufacturing flat panel display, and device manufacturing method

WO2021255807 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021255807
Aktenzeichen: EP20941187
Anmeldetag: 15. Juni 2020
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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