Electron microscope analysis system

WO2021256212 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021256212
Aktenzeichen: EP21825143
Anmeldetag: 27. Mai 2021
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26H01J37/295G01N23/04G01N23/20058G01N23/2055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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