Apparatus and method for patterning a nanostructure in a target material

WO2021256994 Art A1 23. Dezember 2021

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021256994
Aktenzeichen: EP21826603
Anmeldetag: 11. Juni 2021
Veröffentlichung: 23. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B23K26/00G02B27/28

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Anmelder

Firma: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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