Heizanordnung und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements

WO2021259545 Art A1 30. Dezember 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021259545
Aktenzeichen: EP21726850
Anmeldetag: 6. Mai 2021
Veröffentlichung: 30. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/18G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von