Dimension measuring device, semiconductor manufacturing device, and semiconductor device manufacturing system

WO2021260765 Art A1 30. Dezember 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021260765
Aktenzeichen: EP20941621
Anmeldetag: 22. Juni 2020
Veröffentlichung: 30. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01B15/04G01B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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