Matched chemistry component body and coating for a semiconductor processing chamber

WO2021262508 Art A1 30. Dezember 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021262508
Aktenzeichen: EP21830162
Anmeldetag: 16. Juni 2021
Veröffentlichung: 30. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C04B41/87C04B41/50C04B41/45C04B35/01C04B35/553

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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