Sequencer Time Leaping Execution

WO2021262890 Art A1 30. Dezember 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021262890
Aktenzeichen
EP21828211
Anmeldetag
23. Juni 2021
Veröffentlichung
30. Dezember 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G05B19/04G05B19/418H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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