Apparatus for moving a substrate, deposition apparatus, and processing system

WO2022002385 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022002385
Aktenzeichen: EP20743970
Anmeldetag: 1. Juli 2020
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/50C23C14/04C23C14/54C23C14/34H01L21/68H01L51/00H05B33/10H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von