Silicon carbide epitaxial substrate and method for producing silicon carbide epitaxial substrate

WO2022004181 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022004181
Aktenzeichen
EP21833082
Anmeldetag
20. Mai 2021
Veröffentlichung
6. Januar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36C23C16/02C23C16/42C30B25/14C30B25/16C30B25/20H01L21/20H01L21/205H01L21/336H01L29/06H01L29/12H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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