Differential exhaust device and focused energy beam device

WO2022004229 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022004229
Aktenzeichen: EP21834030
Anmeldetag: 31. Mai 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/16H01J37/18H01J37/28H01J37/305H01J37/317G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von