Setting method of setting information used for board processing monitoring, monitoring method of board processing device, and board processing device

WO2022004276 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022004276
Aktenzeichen: EP21831569
Anmeldetag: 4. Juni 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/00B05C11/10H01L21/027H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von