Fluid control device, fluid supply system, and fluid supply method

WO2022004349 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022004349
Aktenzeichen: EP21832785
Anmeldetag: 15. Juni 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/02G05D7/06F16K37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von