Focused ion beam device
WO2022004401
Art A1
6. Januar 2022
Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022004401
- Aktenzeichen
- EP21833396
- Anmeldetag
- 17. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/06H01J37/18H01J37/20H01J37/244H01J37/305H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- V TECHNOLOGY CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
V Technology
V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.
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