Accurate determination of radio frequency power through digital inversion of sensor effects

WO2022005815 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022005815
Aktenzeichen: EP21832330
Anmeldetag: 22. Juni 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01R19/252G01R23/02G01R23/175

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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