Remote plasma source showerhead assembly with aluminum fluoride plasma exposed surface

WO2022005864 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022005864
Aktenzeichen: EP21834515
Anmeldetag: 24. Juni 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C8/08C23C8/36C23C16/30C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von