Robot apparatus and systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing

WO2022006174 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022006174
Aktenzeichen: EP21831643
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 6. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/00B25J9/04B25J9/12B25J15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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