Micro-electromechanical system (mems) including tantalum as a structural material

WO2022006465 Art A1 6. Januar 2022

Anmelder: CARNEGIE MELLON UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022006465
Aktenzeichen
EP21833279
Anmeldetag
1. Juli 2021
Veröffentlichung
6. Januar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B81B5/00B81B7/02B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CARNEGIE MELLON UNIVERSITY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Carnegie Mellon University

Carnegie Mellon University ist eine private US-Universität mit Sitz in Pittsburgh, bekannt für Informatik- und Ingenieurforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Medizintechnik und Mess-/Prüftechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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