Marangoni drying device with adjustable spray angle

WO2022007539 Art A1 13. Januar 2022

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY, HWATSING TECHNOLOGY CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022007539
Aktenzeichen: EP21837265
Anmeldetag: 31. Mai 2021
Veröffentlichung: 13. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67F26B11/18F26B21/00B08B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TSINGHUA UNIVERSITY
HWATSING TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

3.287 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von