Gas treatment device and vacuum line
WO2022008253
Art A1
13. Januar 2022
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022008253
- Aktenzeichen
- EP21735682
- Anmeldetag
- 23. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 13. Januar 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04C25/02H01L21/67F04C29/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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