Method for producing a beam of charged gas-phase species and associated device

WO2022008736 Art A1 13. Januar 2022

Anmelder: UNIVERSITE PARIS-SACLAY, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022008736
Aktenzeichen: EP21743432
Anmeldetag: 9. Juli 2021
Veröffentlichung: 13. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/26H01J49/16H01J37/08H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: UNIVERSITE PARIS-SACLAY
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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