Negative photosensitive resin composition, pattern formation method, and laminated film

WO2022009569 Art A1 13. Januar 2022

Anmelder: SAN-APRO LTD., TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022009569
Aktenzeichen
EP21837592
Anmeldetag
2. Juni 2021
Veröffentlichung
13. Januar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F7/038G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SAN-APRO LTD.
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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