A fluid handling system, method and lithographic apparatus

WO2022012830 Art A1 20. Januar 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022012830
Aktenzeichen: EP21732058
Anmeldetag: 14. Juni 2021
Veröffentlichung: 20. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B06B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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