Spectrometric metrology systems based on multimode interference and lithographic apparatus

WO2022012927 Art A1 20. Januar 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022012927
Aktenzeichen: EP21737448
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 20. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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